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壓電位移臺是一種基于壓電效應實現微小位移精確控制的裝置,在現代科研和工業領域應用廣泛。
1. 工作原理:當在壓電材料上施加電壓時,材料內部的正負電荷會重新分布,產生應力,進而使材料發生形變。通過精確控制施加的電壓,可以實現對壓電位移臺位移量的精確控制。
2. 結構組成:通常由壓電陶瓷、機械結構和控制電路組成。壓電陶瓷是實現位移的核心部件;機械結構用于將壓電陶瓷的微小形變轉化為可利用的位移輸出,如采用柔性鉸鏈連接等方式,確保精確導向;控制電路則根據需要的位移大小和方向來調節電壓的大小和頻率。
3. 主要特點:具有位移分辨率高,可達納米級;響應速度快,能在毫秒級時間內完成位移操作;定位精度高、穩定性好等優點。此外,通過壓電慣性驅動機制,還可實現穩定、可自鎖的長行程運動。
4. 主要類型:從運動維度上可分為單軸、雙軸和三軸位移臺等。單軸位移臺可在單個維度上提供精確定位,雙軸和三軸位移臺則可在兩個或三個維度上實現平移或偏轉。從控制方式上可分為開環和閉環位移臺,閉環位移臺內部增配了閉環傳感器,用于檢測位移臺本身實際產生的位移量,定位精度更高。
5. 應用領域:在精密儀器、光學設備中,可用于精密調整光學元件的位置,實現光束的精確控制;在半導體制造領域,用于精確控制加工工具的位置,確保芯片制造的精度;在生物醫學領域,用于顯微鏡的樣品臺,實現細胞的精確定位和觀察等。
壓電位移臺產品推薦
卓立漢光儀器有限公司是一家集光學、精密機械、電子、計算機技術于一體的高科技企業,在光電儀器領域具有較高的知*度和良好的聲譽。自 1999 年成立以來,卓立漢光不斷發展壯大,其電控位移臺、手動位移臺、光學調整架等產品已形成產品系列化、規格多元化。2005 年 10 月,在同行業中率*通過 ISO9001 質量管理體系 SGS 國際認證。2019 年至 2022 年,公司多次入選專精特新 “小巨人" 企業名單,彰顯了其在技術創新和專業化發展方面的實力。
卓立漢光的 LSxxX.lab.O/R 系列壓電納米線性位移臺具有以下優勢:
· 高精度控制:采用閉環控制,光學型傳感分辨率默認可達 10nm,還可選更高精度,電阻型傳感分辨率為 100-200nm,最小步伐約 10nm。
· 運行安靜:驅動頻率為 20kHz,運行時超安靜,適合對噪音敏感的實驗環境。
· 設計緊湊:有多種尺寸可選,如 LS65x.Lab.O/R 底面尺寸為 65×65mm×12mm,節省安裝空間,便于集成。
· 環境適應性強:支持無磁(.NM)、高真空(.HV)和超高真空(.UHV)選件,可滿足多種特殊環境需求。
· 兼容性好:可提供多軸堆疊安裝轉接件,控制器兼容旋轉臺、搖擺臺,能與其他設備協同工作。
· 性能良好:以 LS65x.Lab.O/R 為例,運動行程 30mm,最大速度約 20mm/s,最大水平推力 2N,保持力 5N。